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      飛旋磁懸浮復(fù)合分子泵，采用五自由度磁懸浮軸承，可實(shí)現(xiàn)泵體的任意角度安裝,通用接口設(shè)計(jì)，適合各種設(shè)計(jì)需求、豐富擴(kuò)展功能，滿足客戶定制化需求，抽速范圍1000-2300L/S, 最高轉(zhuǎn)速42000rpm, 極限真空5*10-8Pa，兼容國外同類產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于科研、節(jié)能玻璃、太陽能光伏、液晶面板制造等行業(yè)。